Línuþéttleiki: Hefur bein áhrif á litrófsdreifingu, venjulega á bilinu 300-3600 línur/mm. Hár-þéttleikarist krefjast notkunar útfjólubláa eða röntgengeisla.
Diffraction skilvirkni: Hlutfall orku sem sveifst í markröð fyrir ákveðna bylgjulengd ljóss. Hágæða endurskinsristir geta náð yfir 95% skilvirkni í sýnilegu ljósabandinu.
Bylgjulengdarsvið: Ákvarðað af ristinni. Álhúðuð rist úr málmi geta þekja 200-2000 nm, á meðan marglaga rafmyndagrindur geta stækkað svið í djúpt útfjólubláa (121nm) eða mið-innrauða (20μm).
Hornvik: Leyfilegt frávik innfallsljósshorns frá fræðilegu gildi, venjulega ±0,5 gráður, sem krefst mjög mikillar vélrænnar uppsetningarnákvæmni.
